工艺冷却水系统是用于半导体、微电子等行业中关键设备的间接冷却装置，分为开式系统和闭式系统，下面就工艺冷却水系统组成、工作原理进行详细介绍。

　　工艺冷却水的应用范围非常广泛，涉及到工业生产中的各方面，包括半导体、微电子、工业制冷机、火电厂中汽轮机排气冷凝、大型中央空调、煤化工、石化厂、天然气管道降温等场所均有大量的工艺冷却水使用，在许多产品或工艺生产环境都要求配备洁净厂房，车间全年要求温度和相对湿度保持在一定范围。其中一些生产过程发热量大，工艺设备需要低温水冷却降温，甚至在冬季仍然需要空调供冷。为了满足这些要求，必须建造工艺冷却水系统，工艺冷却水系统分为开式系统和闭式系统两类。

　　工艺冷却水系统组成及工作原理

　　工艺冷却水系统由以下几部分组成：冷水机组、泵、热交换器、水箱、过滤器、工艺设备。

　　冷水机组：给冷却水系统提供冷源。

　　水泵：对水加压，保证其在冷却系统中循环流动。

　　热交换器：利用此设备使冷冻水系统与冷却水系统产生热交换，以将此系统负载端产生的热量传送给冷冻水系统，热交换器种类繁多，按其形式可分管壳式、板式、板翅式、热管式等。相比较而言，板式热交换器具有占地面积小，传热面积大的优点。考虑到半导体厂房空间面积造价特点，优选占地面积小的设备，节约用地面积，节省了工程造价。

　　水箱：开式系统中水箱主要起到补充水源作用，闭式系统中水箱需要选择膨胀水箱，膨胀水箱有三个作用，一是收容和补偿系统中水的胀缩量。二是向密闭式循环水系统提供稳定的压力，起到系统稳压的作用。三是作为系统补水泵的指示，通常由膨胀水箱发出信号启动或关闭系统补水泵。

　　过滤器：过虑掉水中的固体颗粒杂质，净化水源。

　　工艺冷却水系统中有冷冻水和冷却水这两个相对独立的系统，冷冻水由冷水机组提供，冷冻水与冷却水进行热交换，使冷却水降温从而降低设备的温度，从生产设备抽水经水泵至热交换器通过控制冷冻水的量来保证工艺冷却水的水温，通过过滤器后送至生产线设备，再回到水泵，构成工艺冷却水反复循环，冷冻水则直接回冷水机组。